SF系列電子束蒸發光學真空鍍膜機

日期:2016-01-13 10:14:16 人氣:17178
SF系列電子束蒸發光學真空鍍膜機

工作原理

電子束蒸發是將膜材放入水冷銅坩堝中,直接利用電子束加熱,使膜材中的原子或分子從表面汽化逸出后入射到基片表面凝結成膜。電子束蒸發比一般電阻加熱蒸發熱效率高、束流密度大、蒸發速度快,制成的薄膜純度高。

應用范圍

光學鍍膜設備可鍍制層數較多的短波通、長波通、增透膜、反射膜、濾光膜、分光膜、帶通膜、介質膜、高反膜、彩色反射膜等各種膜系,能夠實現0-50層膜的膜系鍍膜,也能滿足如汽車反光玻璃、、眼鏡片、光學鏡頭、冷光杯等產品的鍍膜要求。配置不同的蒸發源、電子槍和離子源及膜厚儀可鍍多種膜系,對金屬、氧化物、化合物及其他高熔點膜材皆可蒸鍍

產品特點

1)  光學鍍膜配備有石英晶體膜厚儀,采用PLC與觸摸屏系統聯合實現對整個工作過程的自動控制,工作效率和產品質量重復性一致性優良.
2)適用于光學領域行業,大規模工業生產要求的廠商使用。

技術參數表

SF系列電子束蒸發光學真空鍍膜機    
型號SF-800SF-1200SF-1400SF-1600SFW-1000SFW-1200SFW-1600
真空室尺寸 Φ800×1000MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1600×1800MMΦ1000×1100MMΦ1200×1400MMΦ1600×1800MM
真空機組KT500擴散泵機組KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組KT500擴散泵機組KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組
鍍膜系統電子槍蒸發源、鍍膜輔助離子專用電源或霍爾離子源
充氣系統壓強控制儀
控制方式手動或半自動
膜厚監控系統石英晶體膜厚監控系統
抽氣速率5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min
極限真空3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa
備注以上設備參數僅做參考,具體均按客戶實際工藝要求設計訂做
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