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靶材

作者: 來源: 日期:2021-03-02 12:42:49 人氣:867

濺射靶材: 濺射靶材按形狀分類:矩形平面靶材、圓形平面靶材、圓柱靶材

濺射靶材按成分分類:單質金屬靶材、合金靶材、陶瓷靶材

平面靶材利用率比較低,只有30%左右,沿著環形跑道刻蝕。 


靶材冷卻與靶背板 

1. 靶功率密度與靶材冷卻:靶功率越大,濺射速度越大;靶允許的功率與靶材的性質及冷卻有關;靶材采用直接水冷,允許的靶功率高。

2. 靶背板 target backplane

使用場合:ITO,SiO2,陶瓷等脆性靶材及燒結靶材Sn(錫), In(銦)等軟金屬靶;靶材太薄、靶材太貴

 

材質要求:

導熱性好---常用無氧銅,無氧銅的導熱性比紫銅好;強度足夠---太薄,容易變形,不易真空密封。 

結構: 

空心或者實心結構---磁鋼不泡或泡在冷水中;厚度適當---太厚,消耗部分磁強;太薄,容易變形。 

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